i. 波长色散型XRF(WDS)：利用晶体的衍射效应，将X射线按照波长(或能量)分散成不同的谱线;当样品被X射线激发后，发射出特征X射线，通过分光晶体将不同波长的X射线分开，然后由探测器接收特定波长的X射线，从而实现元素的分析。分辨率高、灵敏度好、稳定性好;分析速度较慢，操作相对复杂，设备成本较高。

　　ii. 能量色散型XRF(EDS)：利用探测器将接收到的X射线按照能量转换成电信号，通过电子学电路放大和处理，得到元素的特征谱线;与WDS不同，EDS不需要分光晶体，可以直接分析样品中所有元素。分析速度快，操作简便，设备成本较低;分辨率相对较低，受环境因素影响较大。